Изложены основные представления о закономерностях диффузионного взаимодействия материала покрытия с матрицей и матрицы с осаждаемым материалом. Рассмотрены ростовые дефекты в покрытиях, получаемых методами испарения - конденсации материала покрытия в вакууме, разложением и восстановлением летучих металлсодержащих соединений. Оценено влияние второго компонента при осаждении двух компонентов, описаны наиболее часто встречающиеся типы дефектов и возможные механизмы их возникновения. Для научных и инженерно-технических работников, занимающихся проблемами химико-термической обработки материалов.